Надёжные средства испытаний и контроля

+7 342 219-56-90

Пермь, ул. Генерала Наумова, 8

Анализаторы влажности газов серии 5900UHP

Анализаторы моделей этой серии – 5910 UHP и 5920 UHP — предназначены для определения влажности в сверхчистых газах, применяемых в производстве электронных компонентов. Анализаторы используют пьезокристаллический принцип измерения. Для проверки правильности показаний на потоке анализаторы оснащены встроенной системой коррекции нуля, а также генератором влажности, работающим в диапазоне единиц ppb и использующим изменение температуры для создания необходимого уровня влажности. Возможно исполнение анализаторов для монтажа в стойку 19″ для работы в системах подачи газовых смесей.

Анализаторы могут быть использованы и для других задач, где требуется прецизионное измерение влажности газов на предельно низком уровне.

Особенности:

  • Быстрый отклик
  • Высокая чувствительность и низкая погрешность в диапазоне ppb
  • Совместимость с большинством газов, используемых при производстве микросхем, включая кислород, водород и их смеси
  • Возможность проверки правильности измерений встроенным генератором влажности

Технические характеристики

МодельАнализатор влажности 5900UHP
Диапазон измеренияот 0…170 ppbv до 0…1000 ppbv
Погрешность±100 pptv или ±10% показания, что больше
Температура пробы0…100 °С
Давление пробы50…700 кПа
Габариты480 мм х 180 мм х 509 мм
Масса16 кг
Анализатор влажности 5900UHP

Анализатор влажности 5900UHP

Наши клиенты:

Нажимая кнопку "Отправить", я соглашаюсь на обработку своих персональных данных. Подробнее