Установки вакуумного напыления типа УВН-71, УВН-74

Во времена Советского Союза для собственных нужд электронной, авиакосмической, атомной промышленности было произведено много установок типа УВН-71 (цилиндрическая камера с вертикальным подъёмом колпака), УВН-74 (цилиндрическая горизонтальная камера с открывающейся круглой фланцевой дверью), РЭ-70, ВУ-1, ВУ-2, Оратория (камера с прямоугольной фланцевой дверью) и пр. Несмотря на то, что данные установки морально (а зачастую и физически) устарели, многие из них используются в современном производстве, а с учётом отлаженных технологических процессов переход на современные установки потребует колоссальных вложений и займёт много времени.

Предлагаем создание аналогичных установок с габаритными характеристиками камеры и подколпачной оснастки, полностью идентичными существующим, но при этом оснащённых новейшей автоматизированной системой управления, откачной вакуумной системой, системой контроля параметров процесса напыления. Данные установки заменят имеющиеся без необходимости изменения техпроцесса, а применяемые современные комплектующие и материалы позволят увеличить срок службы и упростить обслуживание и ремонтопригодность.

Технические характеристики

Наименование параметраЗначение
Количество камер в установке1 шт.
Форма рабочей камерыцилиндрическая
Габариты рабочей зоны камерыдиаметр: 150 … 600 мм
длина: 200 … 1000
Температура подогрева подложек50 … 400 °C
Метод распыления материаларезистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление
Материалы подложекметаллы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины
Материалы нанесенияметаллы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения
Толщина наносимого покрытия0,001 … 500 (определяется технологией) мкм
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядомимеется
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессеимеется
Типы применяемых откачных систем:масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы)
Типы датчиков контроля толщины напылениявибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный
Расположение подложек в камеревертикальное, горизонтальное
Возможность карусельной обработки подложекимеется
Возможность двустороннего нанесенияимеется
Возможность нанесения в ограниченном объёмеимеется
Установки типа УВН-71, УВН-74

Установки типа УВН-71, УВН-74

Наши клиенты

  • Нефтегазовая отрасль

  • Двигателестроение

  • Металлургия

  • Машиностроение

  • Химическая отрасль

  • Авиастроение

Нажимая кнопку "Отправить", я соглашаюсь на обработку своих персональных данных. Подробнее