Установки вакуумного напыления типа МАП-1, МАП-2, МАП-3

Современные технологические процессы требуют современных высокотехнологичных решений. Так, с целью создания уникальных материалов, на одном из предприятий авиакосмической промышленности при участии ведущих специалистов ряда отечественных предприятий, в 1995 году была создана современная установка для нанесения покрытий МАП-1. В последствии данная установка подвергалась неоднократной модернизации, что привело к созданию модификаций МАП-2 и МАП-3.

При необходимости имеется возможность создания установки с боксовой загрузкой. Данная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом, возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.

Технические характеристики

Наименование параметраЗначение
Количество камер в установке1 шт.
Форма рабочей камерыцилиндрическая, прямоугольная
Габариты рабочей зоны камерыдиаметр: 300 … 1500 мм
длина: 500 … 2000
Температура подогрева подложек50 … 400 °C
Метод распыления материаларезистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление
Материалы подложекметаллы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины
Материалы нанесенияметаллы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения
Толщина наносимого покрытия0,001 … 500 (определяется технологией) мкм
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядомимеется
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессеимеется
Типы применяемых откачных систем:масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы)
Типы датчиков контроля толщины напылениявибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный
Расположение подложек в камерепроизвольное, определяется техпроцессом
Возможность карусельной обработки подложекимеется
Возможность двустороннего нанесенияимеется
Установки вакуумного напыления типа МАП-1, МАП-2, МАП-3

Установки вакуумного напыления типа МАП-1, МАП-2, МАП-3

Наши клиенты

  • Нефтегазовая отрасль

  • Двигателестроение

  • Металлургия

  • Машиностроение

  • Химическая отрасль

  • Авиастроение

Нажимая кнопку "Отправить", я соглашаюсь на обработку своих персональных данных. Подробнее