Термодиффузионные установки

Термическая диффузия – физико-химический процесс, изменяющий структуру поверхности обрабатываемого изделия в условиях термостабилизации и контролируемой атмосферы.

Нагревательные элементы, применяемые в установках типа СД.ОМ имеют уникальную конструкцию и наматываются из проволоки специальных марок высокотемпературных сплавов (еврофехраль, kanthal, kanthal A1). Намотка производится в горячем состоянии по специально разработанному технологическому циклу, что значительно уменьшает остаточную деформацию полученного нагревателя и продлевает его срок службы.

Основные преимущества

Количество нагревательных камер: 2 или 3
Максимальная температура процесса: 1250°С
Длина рабочей тепловой зоны: 600 мм
Погрешность распределения температурного поля: ±1°С
Погрешность воспроизведения температуры: ±1°С
Материал нагревательных элементов: Kanthal или еврофехраль
Загрузка и выгрузка: ручная или с помощью встроенных загрузчиков
Современная автоматизированная система управления процессом
Независимая работа каждого реактора
Энергоэффективная система силового питания нагревателей
Точная система регулирования расхода окислителей и диффузантов

Технические характеристики

Наименование параметра	Значение
Количество камер в установке	1, 2, 3, 4 шт.
Форма рабочей камеры	цилиндрическая
Габариты рабочей зоны камеры	диаметр: 100, 150 (200 и 300 в разработке) мм длина: 600 (по требованию заказчика)
Диапазон рабочих температур в камере нагрева	контроль термопарами ХА(K) или НН(N): 100 … 1250 °C контроль термопарами ПП(S) или ПР(B): 100 … 1600 °C контроль термопарами ВР(A1) или ВР(C): 60 0… 2150 °C
Диапазон рабочих температур в камере нагрева	100 … 1250 °C
Способ нагрева	резистивный
Допустимая масса садки с деталями	1 … 15 кг
Диапазон скоростей нагрева/охлаждения	1 … 20 °C/мин
Проводимые процессы	диффузия, окисление (в т.ч. пирогенное)
Количество входов для рабочих газов	2 … 8
Доступные операции с рабочими газами	смешение, увлажнение
Минимальное процентное содержание каждого газа при смешении	5%
Диапазон автоматической регулировки расхода каждого газа	20 … 600 л/мин
Возможность установки дополнительных барбатёров с жидким диффузантом	имеется
Возможность установки системы загрузки-выгрузки с возможностью встряхивания	имеется
Возможные типы откачных систем	масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы)
Равномерность температуры в рабочем пространстве без загрузки электропечи при автоматическом контроле поддержания температуры в установившемся режиме	±1±0,0005t °C
Стабильность поддержания рабочей температуры в рабочей зоне при управлении нагревом в автоматическом режиме	±1±0,0005t °C