Проекты
Современные технологические процессы требуют современных высокотехнологичных решений. Так, с целью создания уникальных материалов, на одном из предприятий авиакосмической промышленности при участии ведущих специалистов ряда отечественных предприятий, в 1995 году была создана современная установка для нанесения покрытий МАП-1. В последствии данная установка подвергалась неоднократной модернизации, что привело к созданию модификаций МАП-2 и МАП-3.
При необходимости имеется возможность создания установки с боксовой загрузкой. Данная установка обеспечивает непрерывное нахождение изделий в вакууме, а загрузка и выгрузка происходит с помощью отдельно герметизируемых шлюзовых боксов. Таким образом, возможно получить технологическую линию с непрерывным процессом нанесения покрытий на подложки.
Наименование параметра | Значение |
Количество камер в установке | 1 шт. |
Форма рабочей камеры | цилиндрическая, прямоугольная |
Габариты рабочей зоны камеры | диаметр: 300 … 1500 мм длина: 500 … 2000 |
Температура подогрева подложек | 50 … 400 °C |
Метод распыления материала | резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление |
Материалы подложек | металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины |
Материалы нанесения | металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения |
Толщина наносимого покрытия | 0,001 … 500 (определяется технологией) мкм |
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом | имеется |
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе | имеется |
Типы применяемых откачных систем: | масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы) |
Типы датчиков контроля толщины напыления | вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный |
Расположение подложек в камере | произвольное, определяется техпроцессом |
Возможность карусельной обработки подложек | имеется |
Возможность двустороннего нанесения | имеется |
Установки вакуумного напыления типа МАП-1, МАП-2, МАП-3
Нефтегазовая отрасль
Двигателестроение
Металлургия
Машиностроение
Химическая отрасль
Авиастроение