Проекты
Во времена Советского Союза для собственных нужд электронной, авиакосмической, атомной промышленности было произведено много установок типа УВН-71 (цилиндрическая камера с вертикальным подъёмом колпака), УВН-74 (цилиндрическая горизонтальная камера с открывающейся круглой фланцевой дверью), РЭ-70, ВУ-1, ВУ-2, Оратория (камера с прямоугольной фланцевой дверью) и пр. Несмотря на то, что данные установки морально (а зачастую и физически) устарели, многие из них используются в современном производстве, а с учётом отлаженных технологических процессов переход на современные установки потребует колоссальных вложений и займёт много времени.
Предлагаем создание аналогичных установок с габаритными характеристиками камеры и подколпачной оснастки, полностью идентичными существующим, но при этом оснащённых новейшей автоматизированной системой управления, откачной вакуумной системой, системой контроля параметров процесса напыления. Данные установки заменят имеющиеся без необходимости изменения техпроцесса, а применяемые современные комплектующие и материалы позволят увеличить срок службы и упростить обслуживание и ремонтопригодность.
Наименование параметра | Значение |
Количество камер в установке | 1 шт. |
Форма рабочей камеры | цилиндрическая |
Габариты рабочей зоны камеры | диаметр: 150 … 600 мм длина: 200 … 1000 |
Температура подогрева подложек | 50 … 400 °C |
Метод распыления материала | резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление |
Материалы подложек | металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины |
Материалы нанесения | металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения |
Толщина наносимого покрытия | 0,001 … 500 (определяется технологией) мкм |
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом | имеется |
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе | имеется |
Типы применяемых откачных систем: | масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы) |
Типы датчиков контроля толщины напыления | вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный |
Расположение подложек в камере | вертикальное, горизонтальное |
Возможность карусельной обработки подложек | имеется |
Возможность двустороннего нанесения | имеется |
Возможность нанесения в ограниченном объёме | имеется |
Установки типа УВН-71, УВН-74
Нефтегазовая отрасль
Двигателестроение
Металлургия
Машиностроение
Химическая отрасль
Авиастроение