Высоковакуумные и сверхвысоковакуумные камеры различной степени сложности и конфигурации для различных технологических процессов (от небольших камер для лабораторных исследований до камер имитации космического пространства и испытаний различных изделий в среднем, высоком и сверхвысоком вакууме), а также дополнительное оборудование для них.

В газоразрядных камерах зажигаются плазменные разряды необходимой плотности. Далее с помощью ионно-оптической системы облако заряженных частиц разделяется на ионы и электроны, которые направляются далее в систему.

Подобные камеры часто являются составной частью технологических напылительных комплексов или ускорителей заряженных частиц.